低溫?zé)o油真空泵的無油低溫真空機(jī)組,它用干100米3以下的容器無油抽氣真空設(shè)備,壓力范圍在10～5-4×10-6帕之內(nèi)。 為了從真空室里抽出≥87%的氣體,便使用由液氮冷卻的具有下列參數(shù)的低溫?zé)o油真空泵:工作壓強(qiáng)范圍100-11.5仟帕;壓強(qiáng)9.3仟帕;對(duì)空氣的抽氣速率從0.02改變到0.1米3/秒,這與低溫泵工作狀態(tài)直接相關(guān);液氮的單位消耗量,包括低溫泵冷卻到工作溫度的消耗量為6.2升/米3;抽出的氣體的數(shù)量為100米3。 KΦ-3型雙級(jí)氦低溫泵對(duì)H2和 He的剩余氣體具有抽氣能力。(低溫?zé)o油真空泵